本装置は、磁気記録媒体の製造を行うために潤滑剤を硬化させる紫外線を照射するUV照射装置およびUV照射装置へ磁気記憶媒体を供給・排出するためのシステムを備えた装置です。
| 対象基板 | 3.5inch、2.5inch、1.89inch、ガラス･アルミ |
|---|---|
| 処理能力 | ・1600PPH (UV照射時間 14.8秒のとき) ・コンベア搬送速度：131.9mm/s(大径ローラー)、105.6mm/s(小径ローラー) |
| ユーティリティー | 電源：AC200V 17KVA (3相)、圧空：接続口径φ10 約50NL/min 0.5Mpa N2：接続口径φ12、工場排気：φ123 (680l/min以上) 冷却水 使用量：50l/min |
| 装置寸法 | 装置寸法 ………W2500ｘL2160ｘH2600、装置重量 ……… 約800kg |
| クリーン度 | class 100＠0．1μm |
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