ディスク表面に金属膜を生成するスパッタリング装置へのローダー／アンローダー装置です。

 

アンロード中の冷却ステージでは任意の冷却設定を行うことが可能で、ディスクカセットの供給・排出は自動搬送車（AGV）やディスクカセットコンベヤ等で行います。