【製品紹介】

 

• 切り台とバスケットの自動搬送によるバッチタイプ装置です
• スライス工程後のインゴットに、『洗浄』 『切り台からの剥離』を行う装置です
• スライス工程の種類に応じて、装置構成を致します
  
  ①遊離砥粒（スラリー）ウエーハ用洗浄
  ②固定砥粒（ワイヤーソー）ウエーハ用洗浄

 

• 洗浄　→　剥離・回収　→ 乾燥　の一連の工程を自動で行います
• ウエーハ回収用のバスケットも含め、システムでの提供が可能です

固定砥粒用洗浄装置標準構成
装置寸法	6000(W)×2200(D)×3000(H)
処理能力	2400枚/h
槽構成	LD
	Spray-1
	Spray-2
	Rinse-1 (US)
	Rinse-2 (US)
	剥離-1
	剥離-2
	Final Rinse (US)
	ULD
オプション	ウエーハ回収バスケット、水中LD、水中ULD
安全規格	CE-Mark、UL規格に対応可能