【製品紹介】

 

  • カセットの自動搬送によるバッチタイプ装置です
  • セパレータでウエーハを整列させた後に最終洗浄を行う装置です
  • 洗浄 → 乾燥の一連の工程を自動で行います

基本仕様

仕上げ洗浄装置標準構成
装置寸法 14500(W) × 2400(D) × 2200(H)
処理能力 2400枚/h
槽構成 LD
洗剤-1 (US)
洗剤-2 (US)
洗剤-3 (US)
Rinse-1 (US)
Rinse-2 (US)
洗剤-4 (US)
洗剤-5 (US)
Rinse-3 (US)
Rinse-4 (US)
Rinse-5 (US)
Pre Dry (HOT DIW)
Dry (HOT Blow)
ULD
オプション 薬液供給システム、FA通信 等
水中LD、油水分離ユニット、消火システム 等
安全規格 CE-Mark、UL規格に対応可能

太陽電池に関するお問い合わせ

 

PV事業部

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