【製品紹介】
- カセットの自動搬送によるバッチタイプ装置です
- セパレータでウエーハを整列させた後に最終洗浄を行う装置です
- 洗浄 → 乾燥の一連の工程を自動で行います
| 仕上げ洗浄装置標準構成 | |
|---|---|
| 装置寸法 | 14500(W) × 2400(D) × 2200(H) |
| 処理能力 | 2400枚/h |
| 槽構成 | LD |
| 洗剤-1 (US) | |
| 洗剤-2 (US) | |
| 洗剤-3 (US) | |
| Rinse-1 (US) | |
| Rinse-2 (US) | |
| 洗剤-4 (US) | |
| 洗剤-5 (US) | |
| Rinse-3 (US) | |
| Rinse-4 (US) | |
| Rinse-5 (US) | |
| Pre Dry (HOT DIW) | |
| Dry (HOT Blow) | |
| ULD | |
| オプション | 薬液供給システム、FA通信 等 水中LD、油水分離ユニット､消火システム 等 |
| 安全規格 | CE-Mark、UL規格に対応可能 |
太陽電池に関するお問い合わせ
WP事業部
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