各モジュール間で制御を行う事で省スペース・低コスト・メンテナンス性の向上を実現したコンベアシステムです。カセット搬送だけでなく、簡易的な工程間カセットバッファとしても使用できます。

 

レイアウトに合わせ、ターンテーブル、シャトル、リフターとの組み合わせも可能で、フレキシブルに対応できます。

クリーン度	Class10@0.1um
搬送速度	Min.2m/min ～ Max.10m/min迄８段階で任意に設定可能
自己判断機能	外部コントローラ無しでカセットを搬送可能（カセット滞留時は前詰めに自動でバッファ）
搬送ワーク振動値	最大0.5G、５．電源電圧：DC24V±10%
電源電圧	DC24V±10%