【製品紹介】
- 研究開発、実験用の汎用設備です
- カセット手動投入によるバッチタイプ装置です
- 設置場所、用途、諸々条件に応じた設計・製作を致します
- 特殊仕様カセットの提供も可能です
| 装置構成例１：手動テクスチャー（単結晶） | |
|---|---|
| 装置寸法 | 2000(W)×1000(D)×2300(H) |
| 処理能力 | |
| 槽構成 | Pre Clean (SC1) |
| TEXTURE-1 (Alkali) | |
| HF | |
| Rinse | |
| Dry (HOT Blow) | |
| オプション | 薬液供給ｼｽﾃﾑ、FA通信 等 |
| 安全規格 | CE-Mark、UL規格に対応可能 |
| 装置構成例２：手動テクスチャー（多結晶） | |
|---|---|
| 装置寸法 | 2000(W)×1000(D)×2300(H) |
| 処理能力 | |
| 槽構成 | Pre Clean (SC1) |
| TEXTURE-1 (Acid) | |
| HF/Hcl | |
| Rinse | |
| Dry (HOT Blow) | |
| オプション | 薬液供給ｼｽﾃﾑ、FA通信 等 |
| 安全規格 | CE-Mark、UL規格に対応可能 |
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