【製品紹介】

• カセットの自動搬送によるバッチタイプ装置です（200枚/1バッチ）
• ウエーハ表面にテクスチャー加工を行う装置です
• ウエーハの種類に応じて、装置構成を致します
  
  ①単結晶ウエーハ用テクスチャー
  　　　　前処理→アルカリ系処理
  ②多結晶ウエーハ用テクスチャー
  　　　　前処理→酸系処理