【製品紹介】

 

  • カセットの自動搬送によるバッチタイプ装置です(200枚/1バッチ)
  • ウエーハ表面にテクスチャー加工を行う装置です
  • ウエーハの種類に応じて、装置構成を致します

    ①単結晶ウエーハ用テクスチャー
        前処理→アルカリ系処理
    ②多結晶ウエーハ用テクスチャー
        前処理→酸系処理

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