クリーンコンベアシステム

FOUP/SMIF・オープンカセット・カセットBOXなど搬送物に合わせて、設計製作が可能です。
ターンテーブル・リフタ・位置決め・シャッタなどを組み合わせ様々なレイアウトに対応できます。
搬送及びバッファとしての機能があり、上位通信の対応し搬送効率の最適化のためのシステムとして提供します。

セミオート包装機

セミオート包装機は、人手により供給された対象製品を自動ロードし、クリーンパックやアルミパック等にて包装し、脱気・ヒートシーリングの工程を経て、供給場所と同じ場所に製品を自動アンロードする装置です。

セミオート梱包機はカスタマイズが可能、様々ななカセット・ケースに1重・2重包装にも対応可能です。

 

ウエハー移載機

装置前のEFEM・ハンドリング装置・ミニバッファなどの他、検査機や各種プロセス措置などとの取り合い、自動化システムを客先要望に合わせて設計製作が可能です。

 

ISO9001
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ISO9001

セミコンダクターに関するお問い合わせ

 

SC事業部

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