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2019/08/19
【製品紹介】
カセットの自動搬送によるバッチタイプ装置です（200枚/1バッチ）
拡散後ウエーハのPSG（リンガラス膜）を除去する装置です
単結晶、多結晶双方に対応する槽構成が可能です
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