【製品紹介】

 

  • カセットの自動搬送によるバッチタイプ装置です(200枚/1バッチ)
  • 拡散後ウエーハのPSG(リンガラス膜)を除去する装置です
  • 単結晶、多結晶双方に対応する槽構成が可能です

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PV事業部

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