生産性を向上させる先進技術の提供

ディスプレイビジネスユニットは、遠赤外線加熱とプラズマエッチングを駆使し、ディスプレイ分野の製造技術を支えています。顧客本位と環境負荷低減を念頭に日々研鑽・向上に努め、あらゆる最先端技術を追求し社会貢献を進めてまいります。

特徴・方向性

精密加熱技術

5G通信時代の到来において、液晶・有機EL(OLED)に代表されるディスプレイデバイスにも、より精度の高い熱処理技術が要求されています。私達のビジネスユニットは、1961年より遠赤外線による熱処理の独自ノウハウ(均等かつ高精度な熱処理技術、気流制御技術、およびクリーン化技術)を蓄積しており、お客様より高い評価と信頼を獲得しております。「遠赤外線熱処理は非接触のクリーンな熱源」であるという特徴を活かし、蓄積してきたプロセス技術を通じてディスプレイデバイス産業を⽀えてまいります。

プラズマエッチング技術

1970年より国産初のプラズマアッシング装置の販売開始以来、独自技術とノウハウを蓄積してまいりました。近年4K8K放送の開始による高精細化により液晶、有機EL(OLED)に代表されるディスプレイデバイスにもより精度の高いプラズマエッチング技術のニーズが高まっています。私達のビジネスユニットは、高周波電力の精密制御による均一、高密度、高速なエッチング技術により多くの採用実績をいただいており、これからもディスプレイデバイス生産に貢献してまいります。

コア技術

ドライエッチング技術

真空・プラズマ制御技術を応用した加工技術で、ディスプレイ業界をはじめ、
さまざまな分野で活用されています。

精密加熱技術

さまざまな分野のニーズに対応できる精密過熱技術をコア技術基盤として、高精度かつ高効率な加熱を実現する装置を開発・提供しています。

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