半導体デバイスをはじめ各種電子デバイス製造プロセスで共通の問題である基板表面のウォーターマーク発生の抑止をターゲットにし、30年以上のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに累計2,000台以上の販売実績と多くの事例から培ったノ ウ・ハウを活かし、他の追随を許さない高清浄なIPAベーパー乾燥技術を提供しています