最大６インチウェハーのバッチ処理が可能な、プラズマアッシング装置です。

 

チャンバー開閉ドアと一体になったセラミック製ビームウェハーボートローディング機構を有しており、ウェハーボートと石英チャンバーが接触しないためクリーンで均一性の良い処理を実現しております。
また、最大2室（縦型配置）までのチャンバー搭載が可能であり、6インチウェハーまでのサイズであれば、同時に５０枚～１００枚のバッチ処理ができます。※

 

角形ガラス基板上のレジストアッシング処理や小型パーツのプラズマ表面処理にも対応しています。

 

※ボート交換により多種サイズに対応可

対応ウェハサイズ	最大6インチ（バッチ処理）
放電方式	同軸電極方式 対向電極方式
RF ジェネレータ	13.56MHz、1000W
プロセスガス	O2、CF4等　(最大3系統)
用途	レジスト、有機膜アッシング 表面改質 親水性向上 プラズマクリーニング
その他機能	省スペース縦二段式チャンバー配列 ボート引き出し式自動ドア ハロゲンヒーター加熱機構 内部電極（アルミトンネル） オートシーケンス、ステップ制御