商号

ワイエイシイテクノロジーズ株式会社

設立

2016年10月

本社所在地

〒196-0021
東京都昭島市武蔵野3-10-6
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資本金

50百万円

拠点情報

山梨工場

山梨工場は弊社のR&D拠点です。
クリーンルーム内に複数のエッチング装置を運用しており、社内の技術研究、開発の他、お客様からのディスプレイ関連およびその他各種ドライエッチング案件についてのご相談も受けております。

主な設備

・G4.5、G5.5、G6、G8.6の、計4世代のエッチングチャンバー

・段差計、電子顕微鏡(EDX付)、エリプソメータ等の計測機器

富士工場

富士工場は2018年に完成した、弊社の製造拠点です。
複数のG6世代(基板サイズ:1500mm×1800mm)ドライエッチング装置を並行して組立可能なクリーンルーム設備を有し、安定した装置製造能力を確保しております。

主な設備

・クリーンルーム(1,067平方m・10tクレーン2基)

・外部搬入用クレーン、搬入前室