役員

（2011.6.29）

代表取締役社長

(資材本部管掌)
百瀬　武文

常務取締役
エレクトロニクス事業本部長
（FEL事業部管掌）
佐藤　康男

常務取締役　執行役員
メモリーディスク事業部長
（メモリーディスク事業部管掌）
伊藤　利彦

常務取締役
(管理部門管掌)
宮本　忠泰

取締役　執行役員
半導体事業部長

（半導体事業部管掌）
和田　貢

取締役　執行役員
クリーニング事業部長（兼）技術部長

（クリーニング事業部管掌）
大福　芳弘

取締役　執行役員
プラズマシステム事業部長（兼）開発部長
（プラズマシステム事業部・太陽電池事業部管掌）
副島　幸雄

常勤監査役

東田　明

監査役
勝間田 武司

監査役
石田　祥二

執 行 役 員

（2010.4.30）

執行役員

資材本部長（兼）購買部長

西原　宗久

　
執行役員
太陽電池事業部長（兼）営業・開発部長
曽根田　栄悦

執行役員
管理本部長（兼）人事総務部長
寺本　和政