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  　　　　エレクトロニクス事業本部   
   （エレクトロニクス関連事業を統括管理）  
       メモリーディスク事業部        
   
HDD関連装置、半導体関連装置		      
  プラズマシステム事業部           F E L 事業部  
  液晶：アッシャー、エッチャー、アニール
半導体・アッシャー装置		  

フィールド・エミッション・ランプ

  
  半導体事業部    太陽電池事業部   
 

半導体検査ハンドリング装置

  

テクスチャリング、拡散炉、
PSG、反射防止膜（AR）成膜、
配線印刷、配線形成（BSF）

  
             
   クリーニングシステム事業部    
     

 衣料クリーニング関連装置

      
（　↑事業名称をクリックすると各事業部紹介ページにリンクします。）
    
 エレクトロニクス事業本部を2010年4月に設立し、
 メモリーディスク、プラズマシステム、半導体、FEL、太陽電池の各事業を、
統合管理する体制に致しました。 
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